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技術(shù)專(zhuān)區(qū)

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前驅(qū)體介紹

前驅(qū)體是獲得目標(biāo)產(chǎn)物之前的物質(zhì)存在形式，大多是以有機(jī)-無(wú)機(jī)配合物或混合物固體存在，也有部分是以溶膠形式存在。
前驅(qū)體不是一個(gè)確切的科學(xué)術(shù)語(yǔ)，沒(méi)有特定的概念。也有人把它定義為目標(biāo)產(chǎn)物的雛形樣品，即在經(jīng)過(guò)某些步驟就可實(shí)現(xiàn)目標(biāo)產(chǎn)物的前級(jí)產(chǎn)物。
前驅(qū)體不是初始原料，而可能是某些中間產(chǎn)物。
舉例：ALD(原子層沉積)技術(shù)    氧化鋁Al2O3薄膜就是使用前驅(qū)體Al(CH3)3生成，(CH3)3Al + 6O2 = 0.5Al2O3+ 4.5H2O + 3CO2，我們稱(chēng)三甲基鋁Al(CH3)3為氧化鋁Al2O3的前驅(qū)體。

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