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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 六氟化鎢（WF6） | |
| 化學(xué)式 | WF6 |
| 中文名稱 | 六氟化鎢 |
| 英文名稱 | Tungsten Hexafluoride |
| CAS No. | 7783-82-6 |
| 分子量 | 297.8 |
| 充裝系數(shù) | 2.8kg/L |
| 應(yīng)用 | 主要用作電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料, 另外還可以作為半導(dǎo)體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.99%~≥99.999% |
百科：
六氟化鎢，無色氣體或淺黃色液體，固體為易潮解的白色結(jié)晶，在潮濕空氣中冒煙。
在鎢的氟化物中，WF6是穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層，可用于X-射線的發(fā)射電極。此外，WF6在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。
WF6還有許多非電子方面的應(yīng)用，例如通過CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外，WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。
