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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 四氟化硅（SiF4） | |
| 化學(xué)式 | SiF4 |
| 中文名稱 | 四氟化硅 |
| 英文名稱 | Silicon Tetrafluoride |
| CAS No. | 7783-61-1 |
| 分子量 | 104.08 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 | 有機(jī)硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化劑，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生長(zhǎng)，等離子蝕刻，太陽(yáng)能電池，復(fù)印機(jī)感光筒，非晶硅膜生成，化學(xué)氣相淀積。遇水生成腐蝕性極強(qiáng)的氟硅酸。主要用于氮化硅（Si3N4）和硅化鉭（TaSi2）的等離子蝕刻、發(fā)光二極管P型摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.9%~≥99.999% |
百科：
四氟化硅無(wú)色、有毒、有刺激性臭味的氣體，易潮解，在潮濕空氣中可產(chǎn)生濃煙霧。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)壓力下的熔點(diǎn)(三相點(diǎn))為-90.2℃。在-95.7℃升華。液體的相對(duì)密度為1.590(-88℃)。吸濕性非常強(qiáng)，但如果完全無(wú)濕氣時(shí)，并不腐蝕玻璃、汞、活塞上的潤(rùn)滑脂、橡膠等。加壓下變成液體。
