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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 砷烷（AsH3） | |
| 化學(xué)式 | AsH3 |
| 中文名稱 | 砷烷 |
| 英文名稱 | Arsine |
| CAS No. | 7784-42-1 |
| 分子量 | 77.93 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 |
砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜；硅中n型擴(kuò)散；離子注入；生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與III/V族元素形成化合物半導(dǎo)體。 AsH3可用于合成與微電子學(xué)及固態(tài)雷射有關(guān)的半導(dǎo)體材料。與磷相似，砷是硅及鍺的n-摻染物。更重要的用途是以AsH3為原料，在700-900°C通過化學(xué)氣相沉積來制造半導(dǎo)體材料砷化鎵（GaAs）。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.9999% |
百科：
砷烷在室溫和大氣壓下是一種無色、劇毒、可燃?xì)怏w，有大蒜氣味．與空氣混合形成可燃混合氣。砷烷微溶于水和有機(jī)溶劑，易與高錳酸鉀、溴和次氯酸鈉等起反應(yīng)生成砷的化合物。砷烷在室溫下穩(wěn)定，在230-240℃下開始分解。砷烷是一種溶血性毒物，可中毒神經(jīng)。
