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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 乙硅烷（Si2H6）Disilane | |
| 化學(xué)式 | Si2H6 |
| 中文名稱 | 乙硅烷 |
| 英文名稱 | Disilane |
| CAS No. | 1590-87-0 |
| 分子量 | 66.22 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 | 太陽(yáng)能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長(zhǎng)、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相淀積。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.999% |
百科：
乙硅烷(Disilane)是一種無(wú)機(jī)化合物，其化學(xué)式為Si2H6，在常溫常壓下為無(wú)色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng)。它比硅烷更不穩(wěn)定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。
