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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 二氯二氫硅（SiH2Cl2） | |
| 化學(xué)式 | SiH2Cl2 |
| 中文名稱 | 二氯二氫硅 |
| 英文名稱 | Dichlorosilane，DCS |
| CAS No. | 4109-96-0 |
| 分子量 | 101.01 |
| 充裝量 | |
| 應(yīng)用 | 半導(dǎo)體外延和化學(xué)氣相沉積工藝中的硅源氣體。有機硅化合物的生產(chǎn)。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.95% |
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