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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 磷酸三甲酯（TMPO） | |
| 化學(xué)式 | C3H9O4P；(CH3O)3PO |
| 中文名稱(chēng) | 三甲基磷酸酯，磷酸三甲酯 |
| 英文名稱(chēng) | Trimethyl phosphate |
| CAS No. | 512-56-1 |
| 分子量 | 140.08 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 | 用作測(cè)定鋯的試劑、醫(yī)藥、農(nóng)藥的溶劑和萃取劑及氣相色譜固定液；用于晶圓制造過(guò)程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.9999995% |
