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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 磷酸三乙酯（TEPO） | |
| 化學(xué)式 | PO(OC2H5)3 |
| 中文名稱 | 磷酸三乙酯 |
| 英文名稱 | Triethyl phosphate |
| CAS No. | 78-40-0 |
| 分子量 | 182.2 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 | 用作測定鋯的試劑、醫(yī)藥、農(nóng)藥的溶劑和萃取劑及氣相色譜固定液；用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.999995% |
