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電子化學(xué)品

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六氟化鉬(MoF6)
   
化學(xué)式 MoF6
中文名稱 六氟化鉬
英文名稱 molybdenum  hexafluoride
CAS No. 7783-77-9
分子量 209.93
充裝系數(shù)  
應(yīng)用 高純六氟化鉬用于半導(dǎo)體工業(yè)用作強(qiáng)氟化劑、成膜材料及離子摻雜。
產(chǎn)品規(guī)格 ≥99.9%

百科:

六氟化鉬是一種化學(xué)物質(zhì),分子式:MoF6
性質(zhì):白色塊狀結(jié)晶。密度2.55lg/cm3(液態(tài),17.5℃)。熔點(diǎn)17.5℃。沸點(diǎn)35℃。遇干空氣、氯氣、二氧化硫不起反應(yīng)。對(duì)濕空氣敏感,生成藍(lán)色的氧化鉬。大量水溶解并分解。在強(qiáng)氧化劑存在下,室溫能侵蝕許多金屬(金、鉑除外),使金屬表面變?yōu)樗{(lán)色。與堿性氟化物生成配位化合物M21[MoF8]。
將鉬粉加入鉑管中,通干燥氟,加熱至60℃即可制得。
主要用于鉬的同位素分離?稍谖㈦娮庸I(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線。

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